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單晶爐用干式螺桿真空泵組
功 率：3+4.5 kW
抽氣速率：630/756 m3/h
壓 力：≤0.2/≤0.1 Pa
訂購(gòu)熱線(xiàn): 400 777 0802
性能優(yōu)勢(shì) Performance Advantages
· 無(wú)油氣污染工藝設(shè)備，可獲得清潔零件表面；
· 被抽氣體不會(huì)被污染，為期可進(jìn)行回收利用；
· 無(wú)油氣、油煙等有害氣體排放，有利于環(huán)境保護(hù)；
· 避免因泵腔內(nèi)潤(rùn)滑油乳化、變質(zhì)而出現(xiàn)的運(yùn)行故障，提高了系統(tǒng)的穩(wěn)定性；
· 可單獨(dú)使用，進(jìn)氣壓力在1Pa至大氣壓下均能正常工作，抽氣效率高，可大幅度簡(jiǎn)化真空系統(tǒng)；
· 機(jī)組可作為前級(jí)泵使用，與羅茨泵、分子泵等組合成多級(jí)無(wú)油真空機(jī)組，以獲得更大與更高的真空度；
· 轉(zhuǎn)子間無(wú)接觸、無(wú)磨損，零件損耗小，使用壽命長(zhǎng)；
· 泵腔內(nèi)采用間隙密封，對(duì)少量粉塵不敏感；
· 智能控制模式，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)，并針對(duì)異常情況做出報(bào)警；
· 模塊化設(shè)計(jì)，整機(jī)體積小，方便移動(dòng)；
· 可變頻運(yùn)行，節(jié)能效果好；
· 采用一體化水冷電機(jī)設(shè)計(jì)，運(yùn)行噪音低，震動(dòng)??；
機(jī)組內(nèi)容 Unit Content
應(yīng)用行業(yè) Application Industry
☆ 化工 ☆ 光伏
☆ 制藥 ☆ 汽車(chē)
☆ 鋰電池 ☆ 香料
☆ 冶金 ☆ 航空航天
☆ 鍍膜 ☆ 科研院所
☆ 新能源 ☆ 半導(dǎo)體
